基于键合技术的新型集成光学干涉仪的研究

60377014
2003
F0502.光子与光电子器件
李以贵
面上项目
教授
上海交通大学
19万元
测量;微光学;集成光学干涉仪
2004-01-01到2006-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 用X射线曝光制作PLLA微结构 期刊论文 李以贵,Susumu Sugiyama
2 基于同步辐射光刻的微激光器的研 会议论文
3 基于SU-8转写的微染料激光器的制 会议论文 李以贵,Liu JQ, Sugiyama S
4 用同步辐射光来加工微透镜的工艺 会议论文
5 基于SU-8转写的微染料激光器的制 期刊论文 李以贵,Liu JQ, Sugiyama S
6 用同步辐射光来加工微激光器的工 会议论文
7 基于微细加工技术的微谐振腔型滤 期刊论文 宋康,李以贵*, 陈水良
8 用铜网来加工微平面光栅的工艺 会议论文
9 基于形状记忆合金的二维自准直系 期刊论文 李以贵,Minoru S, Kazuhiro
10 二次X射线曝光制作凹面光栅 期刊论文 陈水良,李以贵
11 周期可变光栅的研制及应用 期刊论文 陈水良,李以贵
12 一种新的纳米孔铝光栅的方法 期刊论文 李以贵,Y.Kanemori,K.Hane
13 微传感器 专著 章吉良;周勇;戴旭涵;李以贵;
14 用硅镂空结构作LIGA掩膜版的微细 期刊论文 李以贵,Dzung Viet Dao,Susumu S
15 用铜网来加工微曲面光栅的工艺 会议论文 李以贵,Susumu Sugiyama
16 基于硅转写的微光学器件 期刊论文 李以贵
17 用X射线曝光制造PLLA微结构 会议论文
18 用准分子激光器来加工LIGA掩膜版 会议论文 李以贵,Susumu Sugiyama
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