ＳＴＭ研究半导体表面缺陷的原子尺寸结构和修补技术
69471010
1994
F0122.物理电子学
庞世瑾
面上项目
研究员
中国科学院北京真空物理实验室
13万元
纳米操纵;表面缺陷;缺陷修补
1995-01-01到1997-12-31
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