异质外延金刚石膜界面β-SiC定向结构及膜的电性能研究

59682001
1996
E0201.人工晶体与玻璃材料
何贤昶
专项基金项目
教授
上海交通大学
12万元
异质外延;CVD生长;界面微结构
1997-01-01到1999-12-31
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