超结构声表面波谐振器设计理论及无线无源力学微传感器研究
52075339
2020
E0512.微纳机械系统
雷华明
面上项目
高级工程师
上海交通大学
57万元
声表面波；力学传感器；多场耦合；超结构设计；无线无源
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