三维紫外激光LIGA微加工中的壁直技术
50575112
2005
E0512.微纳机械系统
程曜
面上项目
教授
清华大学
27万元
紫外激光LIGA;微加工;厚膜光刻;壁直问题;衍射
2006-01至2008-12
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